 Т38
 Могэб К., Фрейзер Д., Фичтнер У., Паррильо Л., Маркус Р., Стейдел К., Бертрем У.
 Технология СБИС: В 2-х кн. Кн. 2. Пер. с англ. / Под ред. С.Зи. - М.: Мир, 1986. - 453 с., ил.
 В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС.
 В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удаления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС. Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС (биполярная технодогия, n-МОП- и КМОП-технологии), методы исследования и контроля технологических процессов, герметизация готовых ИС, тестирование и надежность готовых ИС.
 Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.

 Редакция литературы по новой технике